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芒果体育-传 ASML 将提供特供 DUV 给中国,官方回应!
日期:  2024-05-02 作者:  金年会 点击率:  

[导读]据业内动静,在荷兰对光刻机实行了出口管束办法以后,业内频传言 ASML 将规避该办法为中国市场推出特供 DUV 光刻机,近日 ASML 官方专门对此进行了回应。 据业内动静,在荷兰对光刻机实行了出口管束办法以后,业内频传言 ASML 将规避该办法为中国市场推出特供 DUV 光刻机,近日 ASML 官方专门对此进行了回应。 动静人士暗示,中国市场特供版 DUV 光刻机基在 Twinscan NXT: 1980D芒果体育i 光刻系统革新,而该机械是 10 年前推出的旧型号,而不在本次官方禁令规模内。该机械可撑持中芯国际、华虹等国内半导体来出产 28nm 以上的成熟工艺。 据悉,该光刻机是 ASML 现有用率比力低的光刻机,撑持 NA 1.35 光学器件、分辩率可以到达 38 nm,理论上可以撑持 7nm 工艺。年夜大都晶圆厂利用 1980Di 光刻机首要出产 14nm 和以上工艺芯片,很少利用其出产 7nm 芯片。 但是 ASML 官方近日暗示一向以来都遵照所合用的法令条例,公司并没有面向中国市场推出特殊版的光刻机。 按照之前的报导,荷兰出口新规在 9 月 1 往后生效,届时 ASML 将不能不向当局申请出口许可证才能出口进步前辈的浸润式 DUV 系统(即TWINSCANNXT:2000i和后续推出的浸润式光刻系统)。 具体来讲,出口管束名单新增了 TWINSCAN NXT:2000i、NXT:2050i 和 NXT:2100i 等浸入式 DUV,这些装备最高可撑持 5nm 工艺,台积电就利用 SAQP 和氩氟淹没 (ArFi) 光刻实现了 7 nm 量产。 ASML 在售的淹没式光刻机首要有三年夜型号:TWINSCAN NXT:2050i、TWINSCAN NXT:2000i 和TWINSCAN NXT:1980Di。TWINSCAN NXT:1980Di 的分辩率可以到达≤38nm,每小时可以出产275片晶圆。 虽然其分辩率在 38nm 摆布,可是经由过程多重暴光理论上仍然可以撑持 7nm 摆布,只是如许步调更加复杂、本钱更高,良率也会随之变差,听说台积电的第一代7nm工艺也是基在 NXT:1980Di 实现的。 今朝在业内 NXT:1980Di 更多仍是被用在 ≤45nm以下成熟制程的出产,2018 年长江存储和华力二期(华虹六厂)订购的 NXT:1980Di 成功进厂安装,撑持了两家晶圆厂的出产。 2018 年下半年 ASML 正式出货的更加进步前辈的浸润式光刻机 NXT:2000i 经由过程多重暴光则可以撑持到 7nm 和 5nm 制程工艺需求,同年 12 月 ASML NXT2000i 初次进入中国,正式搬入 SK海力士位在无锡的工场。

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为了可以或许从台积电手中从头夺回芯片制造手艺的领先地位,英特尔不吝血本抢购了售价高达3.5亿欧元的ASML最新一代High-NA EUV装备。为了见证“史上最贵”,英特尔分享了其位在美国俄勒冈州的D1X工场内、ASML工程团...

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近日韩媒动静,韩国半导体巨子三星电子表露的审计陈述显示,客岁第四时度已兜售所持有荷兰光刻机制造巨子 ASML 公司残剩的 158 万股股分(0.4% 股权)。

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ASML发布的2023年度陈述,以“小影象,年夜影响”为主题,揭示了ASML的贸易模式和计谋、公司治理,和财政表示环境。

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近日,美国智库计谋与国际研究中间(CSIS)发文指出:硅光子学支持并鞭策了光互连和光计较的前进,这项新兴手艺可能会改变中美在半导体和人工智能方面的竞争。

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1月24日,阿斯麦(ASML)发布了2023年第四时度和全年财报,并将2024年定为调剂年,估计全年发卖额与2023年根基持平。

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本地时候2024年1月1日,光刻机年夜厂ASML发布声明称,荷兰当局比来已部门撤消了2023年发货NXT:2050i和NXT:2100i光刻系统的许可证,影响到了少数中国客户。

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12月10日动静,尼康公布,将在2024年1月正式推出ArF 193纳米淹没式光刻机“NSR-S636E”,出产效力、套刻精度城市有进一步晋升。

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● ASML联席总裁Peter Wennink和Martin van den Brink将在2024年4月24日荣休;● Jim Koonmen将被录用为首席客户官,插手治理委员会。

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10月10日动静,这对ASML来讲是否是有点魔幻,俄罗斯号称开辟出可以替换光刻机的芯片制造东西。

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本年 6 月的时辰,荷兰当局正式公布了针对进步前辈半导体装备出口的新规,即相干企业(ASML)在出口进步前辈半导体装备之前必需取得当局的许可证,不然将被制止。该划定已在上周五(9 月 1 日)生效,但近日荷兰当局经由过程了 ASML...

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